近日,浙江省計(jì)量院“掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置”通過了專家組現(xiàn)場考核,建立了省內(nèi)首個(gè)納米計(jì)量領(lǐng)域社會公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。
目前,浙江省計(jì)量院已具備微納幾何結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的計(jì)量校準(zhǔn)能力,可為半導(dǎo)體企業(yè)、精密加工中心的關(guān)鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準(zhǔn)的途徑,更加全面準(zhǔn)確地為半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的納米尺度關(guān)鍵尺寸檢測提供技術(shù)保障。
近年來,浙江省計(jì)量院為了加強(qiáng)質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)及體系建立, 服務(wù)我省經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型升級,圍繞“三強(qiáng)一制造”中心工作,不斷在高端裝備、醫(yī)療衛(wèi)生、大氣治理、新材料等領(lǐng)域建立社會公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn),滿足新產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展的需要。
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